压电定位系统是纳米技术领域基本的研究工具。该领域诸多应用中极高的精度和速度要求使纳米定位系统的作用变得非常关键,例如纳米压印、纳米装配、超高密度数据存储和纳米制造。

  除了超快的精密定位机构,高性能的压电控制器可以得到非常高的带宽,也可以消除动态非线性问题,得到非常高的跟踪精度;主动轨迹控制技术可以消除离轴误差;特殊的陷波技术可以消除自激振动,从而达到最快的建立时间。


纳米技术、纳米制造与纳米自动化领域

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