摩尔定律一直在推动IC线宽和尺寸的变化。为了跟上技术发展的步伐,前端制造设备和测量设备中的纳米定位机构和精密运动控制系统的精度必须达到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振动、定位误差和漂移必须控制在0.1nm范围内(原子半径量级)。传统的定位系统已经无法提供半导体产业所需的稳定性和精度。

       在半导体领域,使用基于压电陶瓷的解决方案,包括用于减震的长寿命压电元件,用于定位的超高性能大行程纳米定位平台。其他的精密运动产品还包括用于快速光束稳定/角度校正的压电偏摆平台,用于纳米测量应用的压电柔性纳米台,用于掩模对准的纳米对准系统,用于水平和垂直定位的新型混合大行程纳米定位台。电容纳米测量传感器可以测量亚纳米尺度的运动并具有很高的带宽,也大量应用在半导体产业中。


半导体技术领域

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