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压电促动器 ║VS12_系列

产品参数
分辨率 亚纳米量级
响应时间 亚毫秒量级
驱动电压 0V~+150V
使用温度 -20℃~+80℃
结构类型 机构直驱式结构

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压电促动器 ║VS12_系列封装型压电促动器采用紧凑型机械结构,克服了裸陶瓷在使用中由于端面受力不均、侧面受剪切力、弯矩、扭矩、震动、冲击和惯性力等因素造成压电陶瓷的损坏,使得压电陶瓷的耗损率非常高。并可在不增加外部体积的情况下内部集成高性能传感器,以此来消除压电陶瓷在微纳运动过程中位移输出的迟滞、蠕变和非线性等问题。

压电陶瓷促动器可广泛应用于显微与成像 • 测量/激光技术/光学检测/摩擦学 • 生物科技与生命科学 • 新药设计与医疗技术 • 精密加工(金属、光学、激光切割、金刚石修整) • 半导体技术 • 纳米技术、纳米制造与纳米自动化 • 数据存储技术 • 光电子、通信与集成光学 • 天文与自适应光学 • 航天/图像处理/低温与真空环境等领域。


内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹,具有优异的防潮特性,避免漏电流增大造成故障,可实现无故障运行1000亿个循环。


零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。

                                                                                                    

◆ 价格实惠的紧凑型定位系统;

● 静态和动态精密定位

◆ 可提供各种行程版本

● 光纤定位

◆ 多种外径尺寸可供选择

● 激光调谐

◆ 亚纳米的分辨率

● 纳米技术

◆ 亚毫秒的响应时间


◆ 可外置散热片


◆ 内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;


◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。


型号

行程[0V...+150V]

刚度

推/拉力

静电容量

谐振频率

长度L


[μm]±10%

[N/μm]±20%

[N]Max。

[μF]±20%

[KHz]±20%

[mm]±0.5

VS120

9

120

1600/200

0.7

40

19

VS121

20

60

1600/200

1.8

30

28

VS122

40

25

1600/200

3.6

20

46

VS123

60

15

1600/200

5.4

15

64

VS124

80

12

1600/200

7.2

12

82

VS125

100

10

1600/200

9

10

100

VS126

120

8

1600/200

11

8

118

VS127

140

7

1600/200

13

6

136

VS128

160

6

1600/200

15

5

154

注:最大驱动电压为-20V...+150V;长期使用建议驱动电压为0V...+120V。

专业知识与技术

  • 研生首创,国际技术领先:独特的超高精度全并联式柔性铰链导向系统

    突出优势:研生首创,国际技术领先:独特的超高精度全并联式柔性铰链导向系统。研生科技设计开发的并联式柔性铰链导向结构技术已成功转化为系列化产品,并广泛应用于各相关应用领域……

    10-10
  • 柔性铰链导向放大结构

    在纳米定位技术中,柔性铰链导向系统可实现高达几毫米的定位任务。柔性铰链的运动基于固体的弹性变形。这避免了静态、滚动或滑动摩擦,其优点是高刚性、高承载和耐磨性。柔性铰链无需维护,可使用非磁性材料制造,不需要润滑剂或消耗品,因此可在真空环境下工作。压电陶瓷促动器的行程也可通过集成杠杆机构增加。促动器被机械地集成在柔性铰链结构内,行程可扩展至2 mm。由于简单的杠杆结构会使系统失去了相当数量的指导精度和刚度,所以需要设计更复杂的柔性铰链导向结构。柔性铰链可实现超高路径精度的运动。为了补偿高速或横向偏移,研生公司开发出了多种特殊的复合式多连杆柔性导向结构。这些导向系统应用于各类纳米级精密定位系统中,可实现在亚纳米或微弧度范围内的运动精度。

    03-06
  • 压电陶瓷促动器(二)

    压电陶瓷堆叠型促动器的位移通常可达几十微米,最大可达几百微米。柔性铰链导向结构可通过设计,使其作用原理如同一根机械杠杆,对压电陶瓷促动器的位移进行机械放大,必要时将促动器引导至一个不同的方向上。杠杆放大系统的设计十分严苛:一方面,其应防止侧向偏移,另一方面,其应始终沿直线进行导向,杠杆通常是通过一个枢轴点进行引导。此外,行程的增大将导致刚度减小。柔性铰链导向可通过设计,使其进一步集成无需额外导向。柔性铰链结构是用作导向和杠杆系统,在具有更高集成度的压电陶瓷系统中作用也是如此。

    02-28
  • 并联运动压电陶瓷定位系统

    在多轴并联系统中,所有促动器直接作用于单一运动平台。这意味着可以为所有轴设计相同的动态特性,从而大幅降低移动质量。优势:并联运动系统可比串行堆叠或嵌套系统设计得更紧凑。单个轴的误差和质量不会累积。由于最小化质量惯性,并联运动系统可提供多达6个水平的自由度和所有轴的高动态。多轴并联运动允许使用直接平行计量,测量所有有关固定参考的移动平台的自由度。例如,由于力的作用而意外的串扰进入不同轴,因此可检测并实时纠正。这种积极的实时校准即使在动态运行时,也可实现纳米范围内的运动精度。

    02-20
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Piezo•Nano•Positioning

压电促动器 ║VS12_系列

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